无尘室定义

日期:2013-03-06 10:33

(一) 无尘室(CLEAN ROOM)之定义
     『将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度,控制于一定范围内之空间』。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及微粒子(μm),且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。
无尘室一般分为电子、精密工业用Industrial Clean Room(=ICR);及需控制微生物浓度等制药、食品产业用Biological Clean Room(=BCR)。
(二)联邦规格(U.S. Federal standard 209b)等级
      现今一般多奉行美国所制定的联邦规格(U.S. Federal standard 209b), BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空总署 5340.2规格)。
其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3(立方英尺)空气中, 含有多少个0.5μ(micro)以上的微粒子, 及称为「等级○○」。例如:空气中含有10个0.5μ(micro)以下时, 标示为「等级10」。而自然界大气中通常含有300,000~3,000,000个微粒子。
(三)在JIS标准下,无尘室之清洁度,共分为8个等级 
      一般清洁度是指空气的清洁等级,分为等级1、2…….8,8阶段。在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米(1微米=千分之1毫米)之尘埃有多少,是以10的乘方表示。亦即是1立方公尺中,0.1微米的灰尘若是在10个以下时为等级1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,以此类推。
      迈向21世纪,最先端产业的发展,加速了产业构造的变革,无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型和精密化,尘埃和温湿度的变化对商品的完成度亦造成极大的危害,导致品质低下。伴随商品的高品质要求,环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中使用防尘材料及商品都显得格外重要。

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